Système de pulvérisation cathodique magnétron

VON ARDENNE VISS 300

Nous proposons une installation de pulvérisation cathodique verticale d’occasion, modèle ARDENNE VISS 300.

L’installation date de 2002 et a été agrandie en 2016 avec une troisième chambre.

L’installation est équipée d’une sas ainsi que de 3 chambres avec des unités de pulvérisation cathodique à magnétron SSM750RF d’Ardenne.

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Elle comprend également un générateur Trumpf Hüttinger PFG2500RF.

Une source de pulvérisation cathodique à double magnétron, actuellement non installée, ainsi que le système de commande associé d’Astral sont également inclus.

Il y a un appareil de régulation de température pour l’un des deux circuits de refroidissement afin de maintenir une température constante, par exemple de 38 °C, ainsi que 2 refroidisseurs externes avec échangeurs de chaleur.

Dans les chambres, de l’oxyde de zinc (ZnO) et du sulfure de zinc (ZnS) ont été pulvérisés.

L’installation a été utilisée jusqu’à la fin mai 2026 et a été arrêtée sans présenter de défauts.

L’installation a été régulièrement entretenue par l’opérateur et est en très bon état.

Avant la livraison, nous effectuerons la maintenance de toutes les pompes de pré-vide et des turbopompes installées (changement des roulements).

Sur demande, un montage et une mise en service sur site peuvent être proposés en option.

Si vous êtes intéressé par cette installation, nous sommes à votre disposition pour répondre à vos questions.

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