Pompe à vide sèche ULVAC modèle LR600 neuve !Ulvac
Vacuum Pump LR600
Données de base
- Désignation de la machine:
- Pompe à vide sèche ULVAC modèle LR600 neuve !
- Fabricant:
- Ulvac
- Modèle:
- Vacuum Pump LR600
- État:
- nouveau
Prix et localisation
- Emplacement:
- Einsteinstraße 8A, 46325 Borken, Deutschland
Détails sur l'offre
- Identifiant de l'annonce:
- A22132197
- Numéro de référence:
- 20070
- Mise à jour:
- dernière mise à jour le 15.10.2026
Description
Nous proposons ici une pompe à vide sèche ULVAC.
Pompe à vide sèche ULVAC
Solution pour les pompes de processus exigeantes
Pompe à vide sèche
L’approche unique d’ULVAC, qui consiste à exploiter la chaleur latente présente dans le corps de la pompe, permet à la série LR/HR/UR d’offrir des performances même dans les processus les plus exigeants.
ULVAC a concentré ses efforts de conception sur le maintien d’une température élevée et extrêmement uniforme dans toutes les étapes de la pompe, et a optimisé cette famille de pompes pour les applications CVD et de gravure.
Compatible avec le système ECO-SHOCK d’ULVAC pour une économie d’énergie supplémentaire.
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Caractéristiques :
La pompe de la série LR est conçue pour les chambres de sas et les processus PVD.
Le design en aluminium unique d’ULVAC permet une répartition très uniforme de la température dans tout le corps de la pompe :
La pompe de la série ULVAC LR est conçue pour les applications nécessitant une pompe chauffée, des lignes de gaz chauffées et/ou des lignes d’évacuation chauffées.
Excellentes performances de pompage pour l’hélium.
Moteur protégé pour une sécurité accrue et une maintenance facile.
Résiste aux coupures de courant pouvant durer jusqu’à 500 ms.
Les composants internes sont spécialement traités pour garantir un niveau élevé de dureté de surface et une excellente résistance à la corrosion.
Cela empêche l’usure des pièces internes de la pompe lorsqu’elles sont exposées à des gaz corrosifs.
(Série LR)
Conçue pour les gaz de processus qui produisent des sous-produits sous forme de poudre, tels que les fours de croissance de cristaux de silicium.
Pompe de pré-pompage pour les pompes turbomoléculaires et les pompes d’augmentation mécanique.
Type : LR600
État : neuf
Contenu de la livraison : (voir image)
(Sous réserve de modifications et d’erreurs dans les données techniques. Les informations sont données à titre indicatif !)
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